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Semiconductor > FAB > Etcher > Panasonic E620 SiO2 Etcher

ItemPanasonic E620 SiO2 Etcher
Asset No
CategoryEtcher
Date
Serial NumberC1ZE06418
Vintage
Wafer Size6
ConfigurationFully Automatic ICP-RIE with 6" Si / SiN / Oxide etching. 10pcs/hr ( Under 10um Depth )
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